2025년 5월 30일 명지대학교 3공학관에서 개최되었던 2025 한국반도체기술학회 춘계학술대회에서 반도체공학과 대학원 조세윤 박사과정이 우수 논문상을 수상하였습니다.

논문 발표 내용 : 저 온난화 지수 대체 가스인 COF2를 활용한 챔버 세정 연구 진행 및 첨가 가스의 투입을 통한 세정 성능 개선을 확인하였으며 최종적으로 동일 세정 가스 유량 기준으로 기존 세정 가스인 NF3보다 높은 세정 성능을 나타냄을 확인함.